【儀表網 儀表會議】2019年4月25日和26日，上海市計量測試技術研究院材質中心理化室聯合國際分析儀器巨頭安捷倫公司在上海和江蘇無錫舉辦了兩場“ICP-MS分析技術在半導體行業中的應用專題研討會”。參加此次研討會的單位既有中芯國際、華力半導體等集成電路產業龍頭企業，又有諸如多氟多、晶瑞化學等新興民營電子化學品生產企業，與會人員近百人。
 
 　　此次會議也是依托于上海市計量測試技術研究院的“上海市電子化學品計量檢測技術服務平臺”(以下簡稱“平臺”)的一項重要對外服務活動。會上上海市計量測試技術研究院技術人員介紹了“平臺”的功能和服務內容，分享了ICP-MS分析技術在集成電路產業應用的發展現狀。
 　　安捷倫公司特邀其日本技術中心的專家介紹了其產品30年來在半導體行業應用中的技術革新及最新應用進展。研討會氣氛熱烈，得到了與會人員的一致好評。
 　　近幾年，在市場需求和國家政策的推動下，我國半導體集成電路產業正在經歷著前所未有的發展變革。隨著芯片制程工藝水平的不斷提升，對各類材料及化學品的品控要求近乎苛刻，雜質的檢測要求已達十億分之一的級別，對檢測方法和檢測設備都提出了全新的要求。
 　　在此背景下，上海市計量測試技術研究院與安捷倫公司強強聯合，為上海及周邊地區的集成電路及電子化學品生產企業及研發機構，提供了一次很好的學習交流機會，共同探討了我國集成電路技術的發展和ICP-MS在半導體工業領域應用的技術革新和前沿發展成果。
 　　(原文標題：我院與安捷倫公司聯合舉辦ICP-MS應用研討會) <